Công nghệ chế tạo mạch vi điện tử

Mạch tích hợp (Integrated Circuits – IC) hay mạch vi điện tử, hay đơn giản hơn là vi mạch tuy chỉ được chế tạo ở một số nước tiên tiến, bởi các hãng điện tử lớn, nhưng hiện đang được dùng khắp nơi trên thế giới. Vi mạch có mặt ở trong hầu hết các thiết bị điện tử, từ những thiết bị dân dụng bình thường nhất như đồ chơi, đồng hồ, đến những thiết bị chuyên dụng cao cấp như máy bay, tên lửa, tàu vũ trụ.

Tại Việt Nam, số máy tính, điện thoại di động và các phương tiện thông tin khác tăng trưởng hàng chục phần trăm mỗi năm là bằng chứng của việc sử dụng vô cùng rộng rãi các mạch vi điện tử, chắc chắn công nghệ vi điện tử ở trong nước sẽ phát triển. Vì vậy, nhu cầu đào tạo nhân lực trình độ cao về lĩnh vực này sẽ càng trở nên cấp bách.

Chính vì vậy, tác giả đã tiến hành biên soạn cuốn sách này để dùng làm tài liệu giảng dạy cho sinh viên các ngành Vật lý kỹ thuật, Điện tử, Viễn thông, Khoa học và công nghệ vật liệu của các trường đại học. Đây cũng sẽ là tài liệu tham khảo có ích cho các nhà khoa học, các kỹ sư, các nghiên cứu sinh muốn tìm hiểu sâu hoặc sử dụng một hoặc một vài khâu công nghệ trong quy trình chế tạo mạch vi điện tử hiện đại.